光罩传送盒的产品要求
从2020年开始，国内的光罩厂如同雨后春笋一样开始大规模建设投产，高端掩膜版的国产化进程在稳步而艰难的推进。光罩上的图形会被重复缩印到晶圆上，因此光罩的缺陷会严重影响晶圆的良率，零缺陷的光罩对晶圆的光刻工艺至关重要。光罩通过电子束或者激光直写生成电路版图后，需要验证和修复缺陷，随后光罩会被清洗去除残余颗粒和化学污渍，封膜后送至光刻产线。
由于光罩的生产周期要远大于晶圆的生产，设备本身也耗资巨大，一张光罩的售价高达几十万美元，并且光罩的品质直接关系到晶圆光刻的品质。因此有效避免光罩在生产使用过程中免受环境的损坏就十分有必要。
光罩传送盒又称为光罩自动化传输盒、Reticle SMIF Pod。它被用于光罩生产和使用制程中的运输和储存，搭配自动化曝光机、光罩检查机等相关光罩制程、传输使用机台。
炭黑防静电PC塑胶应用
启富塑胶一直致力于为半导体客户提供种类多样的防静电导电塑料，并为客户提供定制化的ESD材料解决方案，作为优秀的导电化合物供应商，启富塑胶生产的导电化合物能适用于各种半导体制程应用。
启富塑胶丰富的半导体载具行业研发生产经验，可以针对不同的客户和工艺需求提供定制化的导电化合物。并广泛应用于晶圆制造生产的各个制程，我们的研发工程师开发了多种特性的导电防静电改性塑料用与不同的晶圆生产工艺。
光罩传送盒用于保护光罩掩模版免受雾霾、空气污染和静电的影响。因此选用的材料要具备高洁净度和低放气性能，并且需要能提供持续长效的静电保护性能。
启富塑胶的透明防静电ABS材料具备良好的透明度，可根据制程目视化管理需求，定制不同底色，并且拥有良好稳定的抗静电效果，目前已被大量用于光罩传送盒上盖。
另外，我们的炭黑导电防静电PC材料在光罩传送盒的生产使用上也有多年的经验，PC材料具备良好的尺寸安定性和高抗冲击性能，能给予光罩有效的安全防护，启富塑胶的防静电PC材料可根据客户的要求定制如下特殊要求：
1.稳定的导电防静电性能，表面电阻率可按照客户需求定制10的6-11次方欧姆；
2.优秀的表面效果，黑亮光泽，高纯洁度，低放气性能；
3.优秀的机械性能，高抗冲击强度，防止碰撞损伤；
4.优秀的可加工性能和成型周期；
启富塑胶研发生产的导电、防静电、电磁屏蔽塑胶材料广泛应用于各行业不同要求的产品。启富塑胶生产的本色透明导电防静电材料旨在保护关键的电子元器件和机械设备免受静电放电危害，电磁和射频干扰，并具备洁净防尘的特点，还能在传导电荷的同时保持材料本身的基本性能。启富塑胶生产导电防静电光罩盒材料拥有多年经验，有很好的性价比和稳定性。
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