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导电防静电塑料用于多片立式放置晶圆舟

导电防静电塑料用于多片立式放置晶圆舟

多片立式放置晶圆舟的产品要求将地球上取之不尽、用之不竭的二氧化硅矿石,放入温度约2000℃的电弧熔炼炉中,高温下,碳和二氧化硅化学反应得到纯度98%左右的冶金级硅,将其...

多片立式放置晶圆舟的产品要求

将地球上取之不尽、用之不竭的二氧化硅矿石,放入温度约2000℃的电弧熔炼炉中,高温下,碳和二氧化硅化学反应得到纯度98%左右的冶金级硅,将其粉碎后与气态氯化氢进行氯化反应生产液态硅烷,然后通过蒸馏话化学还原得到高纯度电子级多晶硅。硅晶圆制造厂将这种多晶硅加热融解,放入一根硅晶体籽晶,与熔融液接触并将其缓慢拉出成型,这种单晶硅棒就叫长晶。硅晶棒再经过切片、磨片、倒角、热处理、抛光、清洗等工序,形成集成电路产业重要的原材料硅晶圆,硅片。空白的硅晶圆经过复杂的化学和电子制程后,可布设多层精细的电子电路,在晶圆厂内制造芯片电路后,再经过切割、测试、封装等程序,就可以成为一颗颗的IC芯片。

现阶段中国的晶圆制造材料市场的总体规模处于扩张期,增速明显。国内的晶圆制造材料产业已经具备一定基础,并在一些核心高端领域破局,打破垄断形成替代。国内晶圆工厂未来的扩产规范十分巨大。多片立式放置晶圆舟作为承载晶圆的周转容器,被广泛应用于晶圆的生产制程中或者出货过程中,由于半导体行业的发展,对晶圆舟的需求也进一步激增。晶圆舟用于晶圆的清洁、装载、保管、移送或者自动化工程中的使用,按照用途可以分为清洁流程的耐化学清洁载具、烘烤加工流程中的耐高温工艺载具和出货移送过程中的普通周转载具。

晶圆舟为了适应自动化流水线,通常采用一定的标准定制:开槽式清洗槽孔设计有利于晶圆的清洗、沥干和烘烤;立式放置的方式提高了晶圆的稳定税票安定性;设计标准的机械接口以对接晶片的生产设备。另外为了防止金属污染晶圆,通常晶圆舟都是采用塑胶材料,并且为了防止静电危害,要采用防静电塑胶。

晶圆舟.jpg

导电防静电塑胶应用

启富塑胶作为优秀的导电化合物供应商,致力于为客户提供类型多样的导电防静电产品和定制设计的ESD塑料解决方案,我们的导电化合物的性能适用于各种应用。

启富塑胶在半导体载具行业有丰富的材料研发生产经验,并针对不同的客户和工艺需求可提供定制化的导电防静电改性塑料,广泛应用于晶圆制造生产的各个工序,我们的研发工程师开发了多种特性的导电防静电改性塑料营业与不同的晶圆生产工艺。

普通周转晶圆舟推荐采用启富塑胶的本色防静电PP、黑色导电防静电PP、本色防静电ABS、本色防静电PBT等材质,这些黑色导电防静电材料添加炭黑有较低的成本用于普通周转用晶圆舟上具备很好的经济效益,而本色防静电材料添加的高聚物抗静电母粒可定制不同的颜色,方便在制程中分站管理,提高生产效率,防静电的材料能有效保护晶圆。

耐高温晶圆舟推荐使用启富塑胶的透明PEI、PPSU、本色PEEK、黑色导电防静电PC、导电防静电PEEK材料,透明的材料可以实现免开盒检查,黑色导电防静电材料添加碳纳米管或者碳纤维有较高的耐热性能,用于承载加热烘烤、扩散、CVD薄膜形成工程等高温处理后的晶圆,高温处理后不变形能避免晶圆受损。

清洗晶圆舟推荐使用本色或者彩色绝缘PVDF、PFA等氟塑料,这类氟塑料具备较高的耐热性能、低离子污染、良好的化学稳定性、耐强酸强碱和氢氟酸,能用于半导体蚀刻部门的酸碱制程中装载、传送晶圆。

启富塑胶的导电防静电塑料被广泛应用于生产制造半导体晶舟,并可根据客户的要求定制如下特殊要求:

1.稳定的导电防静电性能,表面电阻率可按照客户需求定制10的3-11次方欧姆;

2.优秀的机械性能,根据客户要求调整硬度和抗冲击性能;

3.优秀的着色性能,按照产品要求定制不同的颜色;

4.优秀的可加工性能和成型周期;

5.稳定的耐热性能,可根据客户产品用途定制不同耐热要求的材料;

6.良好的耐化学性能,按照客户需要选用不同耐化学性能的材料;

PC防静电PC抗静电PC碳纤维.jpg

启富塑胶研发生产的导电、防静电、电磁屏蔽塑胶材料广泛应用于各行业不同要求的产品。启富塑胶生产的炭黑碳纤导电防静电材料旨在保护关键的电子元器件和机械设备免受静电放电危害,电磁和射频干扰,并具备洁净防尘的特点,还能在传导电荷的同时保持材料本身的基本性能。启富塑胶生产导电防静电晶圆舟材料拥有多年经验,有很好的性价比和稳定性。

本文由防静电ABS厂家-启富导电防静电整理发布,如需转载请注明来源及出处,原文地址:http://www.qfplas.com/daodianyy/109.html
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