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启富塑胶为半导体行业制品提供导电防静电解决方案

作者:启富塑胶 时间: 浏览:2604

众所周知,半导体是电子行业中非常有价值的产品,同时也是异常脆弱的产品,它非常容易受到误操作和污染的影响。半导体的保护和洁净度的控制从晶圆厂一直延伸到实际使用过程中。晶圆生产工艺十分复杂,生产制程十分繁琐。在这些过程中,不同的工位,不同的的产品需要使用不同的包装和夹具来运输。

启富塑胶作为优秀的导电防静电热塑性塑胶材料改性定制厂家,拥有丰富的工程经验来应对半导体行业对材料性能的需求,我们一直致力于拓展我们材料的应用领域,积极的同半导体制造企业和研发企业分享我们的专业知识,帮助我们的客户提高产品的竞争力和附加值,通过创新性的产品来提高市场的份额和行业中的话语权。

为此我们整理了一些在半导体产品包装运输过程中常见的一些产品和解决方案。

多片水平放置晶圆盒

多片水平放置晶圆盒又称为晶圆蛋糕盒、堆叠盒、硅片卡盒、中转盒等,这是一种垂直叠币式包装盒,晶圆盒中的晶片通过环形隔离环分隔水平放置,用于晶片在制程中的高效安全运输。它集支撑、限位、缓冲、吸能于一体,使用较低的成本给晶片提供优秀而全面的保护,被广泛用于薄片晶圆的存放。

启富塑胶推荐使用黑色导电防静电PP用于生产多片水平放置晶圆盒,表面电阻率为1E4-1E11欧姆。

环形隔离环

晶片环形隔离环被用在水平放置晶圆盒中,用于隔离叠层放置的晶圆。它是金属隔离环的低成本替代方案,通常被设计为一次性使用,无需承担回收的运输费用和清洗费用。隔离环只和晶圆周边部分接触,不会使晶圆表面产生划痕,能有效保护晶圆。隔离环表面磨砂的设计可以有效避免与晶圆的附着力,使机械自动堆叠更方便。

环形隔离圈根据不同的要求,可采用碳纤维防静电PPS、炭黑/碳纤维防静电PC、导电防静电PS或者导电防静电PP生产制造,其表面电阻率为1E4-1E11欧姆。

多片水平放置晶圆罐

多片水平放置晶圆罐也是一种垂直叠币式包装盒,它同多片水平放置晶圆盒的主要区别就是外形结构,并被更多的用于出货包装,多片水平放置晶圆罐可包装晶圆数量多,运输包装成本低。罐中的晶片之间通过添加泡棉、隔离片和隔离纸,来提高晶圆防震能力,给晶圆运输过程中提供有效保护。

防震泡棉/海绵垫/内衬垫通常采用防静电发泡PU(表面电阻率为1E6-1E11欧姆)生产制造。

隔离纸通常采用杜邦的tyvek防静电PO做为生产材料,这是一种高密度聚乙烯纤维制成的无纺布,表面电阻率为1E6-1E11欧姆。

隔离片通常采用导电防静电PS挤出片材冲切成圆形,表面电阻率为1E4-1E9欧姆。

晶圆罐的主体常选用启富塑胶的黑色导电防静电PP材料(表面电阻率为1E4-1E9欧姆),防静电本色PP材料(表面电阻率为1E8-1E11欧姆)或者普通绝缘PP材料。

单片晶圆包装盒

单片晶圆包装盒是一种用于单片晶圆安全储存和运输的容器,它同多片水平放置晶圆罐的主要区别就是只能单片储存,并且盖内有弹片设计,能有效避免晶圆移动,防止产生颗粒粉尘,防止晶圆破损。

弹片通常使用普通本色PE材料。

单片晶圆包装盒常选用普通透明共聚PP或者启富塑胶的黑色导电防静电PP材料,也有采用挤出片材后吸塑成型的透明PS或者黑色导电防静电PS。

多片立式放置晶圆舟

多片立式放置晶圆舟又称制程晶舟、晶片花篮、晶圆承载,它采用立式放置的方式提高了晶圆的水平安定性。晶圆舟通常在生产制程中,用于半导体晶圆片、硅片的清洁、装载、保管、移送或自动化工程中使用。根据用途通常可以分为用于清洁流程的耐化学强酸强碱的清洗载具、半导体烘烤流程中的耐高温工艺载具和出货移送储存过程中的普通周转载具。

普通周转晶圆舟推荐采用启富塑胶的本色防静电PP、黑色导电防静电PP、本色防静电ABS、本色防静电PBT等材质,可定制不同的颜色,方便在制程中分站管理,提高生产效率,防静电的材料能有效保护晶圆。

耐高温晶圆舟推荐使用启富塑胶的黑色导电防静电PC、透明PEI、PPSU、本色PEEK、导电防静电PEEK材料,用于承载加热烘烤、扩散、CVD薄膜形成工程等高温处理后的晶圆,高温处理后不变形能避免晶圆受损。

清洗晶圆舟推荐使用本色或者彩色绝缘PVDF、PFA等氟塑料,这类氟塑料具备较高的耐热性能、低离子污染、良好的化学稳定性,能用于半导体蚀刻部门的酸碱制程中装载、传送晶圆。

晶圆舟包装盒

晶圆舟包装盒又称晶舟盒、晶圆储存盒、硅片储料盒、传送盒、出货盒,用于容纳晶圆舟厚在各个工艺流程之间进行转移,是硅片、锗片、玻璃片、蓝宝石片、石英玻璃等等材料承放的容器。它采用密封设计,用于储存晶圆,减少摩擦,能有效的减少由于晶圆颤振盒载流子移动而产生的颗粒污染晶圆,使晶圆获得更洁净的安全保护。根据晶舟盒防静电效果可分为,用于承载从从晶柱切下的空白晶圆片至下端的晶圆厂单纯运输用的不可进入制程的绝缘晶舟盒,和可用于制程周转、存放、包装出货的防静电晶舟盒。

绝缘晶舟盒可使用透明PC、本色PP、透明ABS等,并可定制丰富的色彩。

防静电晶舟盒推荐使用启富塑胶的本色防静电PP、黑色导电防静电PP、透明防静电ABS、本色防静电PBT、黑色导电防静电PC等,可有效避免静电对晶圆的损坏。

晶舟盒上的标识袋采用普通透明PVC材料或者防静电PVC材料,按扣采用白色普通PA材料。

用于制程目视化管理的卡片支架和卡片盒可采用透明ABS、透明本色防静电ABS、导电防静电PP、本色防静电PBT、绝缘PFA/PVDF等。

晶圆舟用手柄通常采用PFA作为生产材料。

单片光罩盒

单片光罩盒又称为光罩出货盒、光罩储存盒、光罩载具。光罩又被称为光掩模版、掩膜版,它以石英玻璃为衬底,再镀上一层金属铬和感光胶,当线路图在感光胶上曝光后,就在金属铬上形成对应的电路图形,透过光罩可以将电路图再光蚀刻复制到晶圆上。光罩生产加工工序为:曝光,显影,去感光胶,然后应用于光蚀刻。光罩储存盒主要用于曝光光刻等工序,在光罩运输和储存时起到安全防护作用,避免光罩遭受外部微尘粒子及化学污染。

光罩储存盒通常采用普通透明ABS塑料,另外启富塑胶的透明防静电ABS、导电防静电PC材料能很好的避免光罩受到静电损害。

光罩传送盒

光罩传送盒又称为光罩自动化传输盒、Reticle SMIF Pod。它被用于光罩生产制程中的运输和储存,搭配自动化曝光机、光罩检查机等相关光罩制程、传输使用机台。高洁净度和低放气性能,并提供持续长效的静电保护性能,保护掩模版免受雾霾、空气污染和静电的影响。

光罩传送盒推荐使用启富塑胶的透明防静电ABS、导电防静电PC以及防静电PEEK等材料。

IC芯片托盘

IC芯片托盘又称为芯片盒、华夫盒、IC承载盘等,主要用于芯片、晶圆、晶粒、COG、光电元件、及其他微电子零件在封装测试过程中或运输、储存、出货过程中的承载包装。根据生产制程的不同,有不同的耐高温烘烤要求及不同的静电防护等级。

普通托盘推荐采用启富塑胶的本色防静电PP、黑色导电防静电PP、本色防静电ABS、透明防静电ABS、黑色防静电PS等材质,可定制丰富的色彩,方便在制程中分站管理,提高生产效率。

耐高温托盘推荐使用启富塑胶的黑色导电防静电PC、本色防静电PC、加纤或者无纤防静电导电MPPO、导电防静电PPS、导电防静电PEI、导电防静电PEEK材料,用于需要加热高温烘烤的托盘,高温处理后不变形。

托盘夹

托盘夹用于固定单层托盘底盖或者多次叠堆使用的托盘,将托盘和托盘盖推入托盘夹内,托盘夹上的两个弹簧互锁片可确保托盘和盖子之间的良好接触,避免运输过程中的震动使托盘移位,损坏内部承载的半导体部件。

启富塑胶推荐使用PP导电防静电材料生产托盘夹,表面电阻率为1E4-1E11欧姆,并具备较好的弹性。

托盘卡条

托盘卡条被广泛使用于黑色耐高温托盘,安装在托盘侧面。使用多种颜色并喷码,用于芯片封装测试过程中进行目视化管理,区分良品不良品和计数,它能大幅提高制程中的生产效率。

托盘卡条通常使用启富塑胶的加纤/无纤防静电本色PA和本色防静电PP材料,能承受一定的高温烘烤,并可定制丰富的色彩。

自吸附胶盒

自吸附胶盒是一种新型的微型元器件包装解决方案,它用于光学材料、半导体元件、光电器件、微电子芯片、医疗器件等高科技易碎或高表面质量产品的特殊存放和运输。它的上盖采用透明防静电ABS塑料,可实现免开盖检测和观察内部包装器件;底壳采用透明防静电ABS或黑色防静电PC材料,并在底部灌封一层胶层,当器件放入胶盒后就被自动吸附在胶盒表面上,无需泡沫、海绵及其它填充材料,即使倾斜或者震动都不会使器件脱落,从而避免震动或碰撞损失器件。

启富塑胶的透明防静电ABS材料和黑色导电防静电PC材料被广泛用于生产自吸附胶盒。

启富塑胶的导电防静电塑料,可以根据半导体行业不同产品要求定制不同性能的材料。我们为客户提供优秀的半导体材料解决方案,并为材料替代提供技术支持,以帮助客户在安全性、自由设计度等领域取得成功,我们希望克服“思维孤岛”和“麻将思维”,把我们在导电防静电材料技术领域取得的新进展和成果分享给更下游的终端产品制造商,充分发挥长臂灰度创新的特点,同我们的更下游共同探讨导电防静电塑料在半导体领域及其他更多领域的应用,为我们的客户提高产品的竞争力和附加值一直是我们努力的方向和目标。


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